化学废气处理技术有很多种。常见的处理方法主要是活性炭吸附技术、低温等离子体技术、生物处理技术。

1、活性炭吸附技术

活性炭（活性炭吸附率可达到89％以上），实用且广泛，操作简单，投资少。吸附和饱和后，需要更换新的活性炭。更换活性炭需要花费。饱和后更换的活性炭还需要寻找危险废物处理的人员。生物处理技术的原理是将化工企业中产生废气流经带有液体吸收剂的吸收装置，该装置中培养有特种微生物，该种微生物可将废气分解代谢，从而达到废气治理的目的。

2、低温等离子体技术

低温等离子体技术的主要原理是通过利用高电场强度的介电放电产生的等离子体，速度反复轰击排气中的气体分子，以使排气中的、各种成分失活，并破坏排气分子，结构体通过一系列复杂的化学反应（例如氧化），复杂的高分子污染物被转化为一些小分子化合物，例如CO2、H2O或物质被转化低毒低危害的物质。

低温等离子体法的应用范围广，特别适用于其他方法难以处理的多组分恶臭气体。电子能量很高，它可以与几乎所有恶臭气体分子相互作用。但是一次性投资很高。在处理易燃易爆气体时存在潜在的隐患。生物处理技术按照工艺科分为生物洗涤技术、生物过滤技术和生物滴滤技术等，其对应的处理装置分别为生物洗涤塔、生物过滤池和生物滴滤塔等。

3、生物处理技术

生物处理技术早是应用于废气脱臭，而随着废气治理技术研究的不断深入，该技术逐步被应用于挥发性污染物的治理。活性炭吸附是处理废气的常用方法。吸附方法使用多孔活性炭、硅浴粘土、无烟煤等，并吸附表面上的恶臭气体分子以净化废气。